附件C：譯文

一種新型綜合的多軸配置并聯(lián)運動學機構第1部分.關于制作的運動學設計

摘要
多軸微型和配置系統(tǒng)正越來越多地用于大部分的計量和工藝設備相關領域納米科技。這一點，首要的一個由兩部分組成的系列文章對一種新型的壓電陶瓷驅動，平行運動軸XYZ維的配置（ pkxyznp ） 現(xiàn)階段，專注于發(fā)展一個可行的計劃，以實現(xiàn)抽象的空間轉化。第一，這個機械裝置是容納了兩個封閉形式解決方案;正向和反向運動學的問題。雅可比與動力系統(tǒng)表明，該機械結構產(chǎn)生相關的比較大的工作量，并且能將高帶寬和均勻性融合交叉。制備系統(tǒng)描述隨著的一些基本測試，其雅可比及其模態(tài)頻率。用電容計，這樣的步驟是能產(chǎn)生85_m 左右的運動并沿每個軸分辨率約為2-4 nm左右?？刂茰y試以及性能表現(xiàn)用來詳細討論相似的文件。
關鍵詞：納米;平行運動學;柔性階段;運動學分析;步驟設計

1. 介紹
納米手段在現(xiàn)代技術中扮演一個越來越重要角色, 特別在微型和納米領域。 他們發(fā)現(xiàn)在微型和納米領域 (例如版本記錄石版印刷)，掃描探針顯微學的應用，和各種各樣的掃描探用的探針或基于工具的計量學和處理設備[1-7]。 當有很多納米手段的定義階段時，這里我們提到可能自動地安置一個工作臺的系統(tǒng)(末端效應器)與某一程度自主(DOF)在它的在線工作并且維護一些毫微米等級的方案。
特別是，這里我們處理彎曲階段和也許是一小部分一毫米的精確度，在氣浮軸承階段上相對的有能力有幾厘米的移動范圍。這樣一些基于掃描系統(tǒng)的正在增加的納米手段的應用，它的系統(tǒng)通常被描述為擁有大量工作范圍，高分辨率和高帶寬。 為了符合這些要求，研究集中在其中每一個重要組成的這些階段： 控制和作動器、位置檢測器、聯(lián)接和運動學系統(tǒng)。這篇文章主要貢獻在運動學系統(tǒng)、分析和控制范圍內(nèi)獲得的協(xié)定，多軸的納米解決方案。 這些篇章介紹關于裝置了的XYZ坐標系的一個新的運動學系統(tǒng)，分析系統(tǒng)的動力學和動力學特征，討論它的制造并且為系統(tǒng)提供塑造外形的測試結果。然而本文的重點在對一種新穎的平