Ag/FTO透明導(dǎo)電薄膜制備及其光電性能研究


2.3萬(wàn)字 40頁(yè) 原創(chuàng)作品，已通過查重系統(tǒng)

目 錄
第1章 緒論 1
1.1 透明導(dǎo)電氧化物薄膜的概述 1
1.1.1 TCO薄膜的發(fā)展現(xiàn)狀 1
1.1.2 ITO、AZO和FTO性能對(duì)比 3
1.1.3 FTO薄膜的制備 4
1.2 FTO基雙層薄膜性能的優(yōu)化 5
1.2.1制備技術(shù)對(duì)透明導(dǎo)電薄膜性能的影響 6
1.2.2制備參數(shù)對(duì)透明導(dǎo)電薄膜性能的影響 7
1.2.3鍍膜類型對(duì)透明導(dǎo)電薄膜性能的影響 10
1.3 FTO薄膜的應(yīng)用 11
1.3.1顯示器件中的應(yīng)用 11
1.3.2建筑玻璃領(lǐng)域中的應(yīng)用 11
1.3.3在光電、光熱、電熱以及氣敏器件中的應(yīng)用 12
1.3.4其他方面的應(yīng)用 12
1.4 本課題的目的、意義和研究?jī)?nèi)容 12
第2章 Ag/FTO雙層復(fù)合透明導(dǎo)電薄膜的制備 13
2.1 實(shí)驗(yàn)的設(shè)計(jì) 13
2.2 實(shí)驗(yàn)部分 13
2.2.1 實(shí)驗(yàn)材料 14
2.2.2 實(shí)驗(yàn)儀器 14
2.2.3 實(shí)驗(yàn)樣品的預(yù)處理 16
2.3 Ag/FTO薄膜的制備方法 17
2.3.1 鍍膜方法 17
2.3.2 退火處理方法 17
2.4 結(jié)果分析與討論 18
2.4.1 薄膜的生長(zhǎng)過程 18
2.4.2 生長(zhǎng)模式 19
2.4.3 不同厚度的金屬Ag層對(duì)Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 20
2.4.4退火對(duì)Ag/FTO薄膜表面形貌的影響 21
2.5 本章小結(jié) 22
第3章 Ag/FTO薄膜光電性能測(cè)試與分析 23
3.1 樣品性能測(cè)試 23
3.1.1 紫外可見分光光度計(jì) 23
3.1.2 四探針測(cè)試儀 24
3.2 結(jié)果分析與討論 25
3.2.1 金屬Ag層厚度和退火對(duì)Ag/FTO薄膜表面光學(xué)性能的影響 25
3.2.2 金屬Ag層厚度和退火對(duì)Ag/FTO薄膜電學(xué)性能的影響 27
3.2.3 不同薄膜樣品的品質(zhì)因子 28
3.3 本章小結(jié) 29
第4章 結(jié)論與展望 30
4.1 結(jié)論 30
4.2 展望 30
致 謝 32
參考文獻(xiàn) 33





摘要 本文通過磁控濺射法制備出Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜，并通過SEM、四探針測(cè)試儀、紫外-可見分光光度計(jì)對(duì)薄膜的形貌與性能進(jìn)行表征和分析，探討了不同制備工藝參數(shù)對(duì)Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜的光學(xué)、電學(xué)性能的影響，還計(jì)算了不同薄膜的品質(zhì)因子。主要結(jié)論如下：
(1) 探討了不同的金屬Ag層厚度對(duì)Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜表面光學(xué)性能的影響。由于金屬Ag層透光性能差，因此與單層FTO透明導(dǎo)電薄膜相比，Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜的透光率會(huì)有所降低，且隨著金屬Ag層的厚度的增加而下降。
(2) 探討了不同的金屬Ag層厚度對(duì)Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜電學(xué)性能的影響。與單層FTO薄膜相比，鍍Ag后的 Ag/FTO雙層透明導(dǎo)電薄膜具有更高的導(dǎo)電率，且導(dǎo)電率隨著金屬Ag層厚度的增加而不斷增加。
(3) 對(duì)不同薄膜樣品的綜合光電性能進(jìn)行了評(píng)價(jià)。金屬Ag層厚度為5 nm、且經(jīng)過退火處理的Ag/FTO 雙層透明導(dǎo)電薄膜的綜合光電性能最好，其品質(zhì)因子為11.0×10-3 Ω-1。

關(guān)鍵詞：Ag/FTO薄膜 磁控濺射 光電性能 品質(zhì)因子