bjt的設計.ppt
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bjt的設計,一、通用的設計考慮 1、發(fā)射區(qū)的設計(實際工藝流程中是最后制備成的)發(fā)射區(qū)的參數(shù)只影響jb、寄生電阻、電容和最終的ic,但不影響jc設計中通常不通過調(diào)節(jié)jb來調(diào)節(jié)器件性能發(fā)射區(qū)設計的要求:根據(jù)實際需要的電流決定發(fā)射區(qū)的面積獲得盡可能小的基極電流獲得盡可能小的發(fā)射區(qū)電阻使ib穩(wěn)定、可重復由于發(fā)射區(qū)的摻雜濃度很高 =...
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一、通用的設計考慮
1、發(fā)射區(qū)的設計 (實際工藝流程中是最后制備成的)
發(fā)射區(qū)的參數(shù)只影響JB、寄生電阻、電容和最終的IC,但不影響JC
設計中通常不通過調(diào)節(jié)JB來調(diào)節(jié)器件性能
發(fā)射區(qū)設計的要求:
根據(jù)實際需要的電流決定發(fā)射區(qū)的面積
獲得盡可能小的基極電流
獲得盡可能小的發(fā)射區(qū)電阻
使IB穩(wěn)定、可重復
由于發(fā)射區(qū)的摻雜濃度很高 性能的穩(wěn)定和可重復重要
同時為降低發(fā)射極接觸電阻通常利用硅化物工藝
由于EB結(jié)空間電荷區(qū)的影響,擴散或注入的發(fā)射區(qū)當WB<100nm以后無法滿足穩(wěn)定工藝的要求。(擴散E區(qū)的結(jié)深約為300nm)
對于薄基區(qū)通常采用多晶硅發(fā)射區(qū),結(jié)深可達25nm,但存在re大的問題
1、發(fā)射區(qū)的設計 (實際工藝流程中是最后制備成的)
發(fā)射區(qū)的參數(shù)只影響JB、寄生電阻、電容和最終的IC,但不影響JC
設計中通常不通過調(diào)節(jié)JB來調(diào)節(jié)器件性能
發(fā)射區(qū)設計的要求:
根據(jù)實際需要的電流決定發(fā)射區(qū)的面積
獲得盡可能小的基極電流
獲得盡可能小的發(fā)射區(qū)電阻
使IB穩(wěn)定、可重復
由于發(fā)射區(qū)的摻雜濃度很高 性能的穩(wěn)定和可重復重要
同時為降低發(fā)射極接觸電阻通常利用硅化物工藝
由于EB結(jié)空間電荷區(qū)的影響,擴散或注入的發(fā)射區(qū)當WB<100nm以后無法滿足穩(wěn)定工藝的要求。(擴散E區(qū)的結(jié)深約為300nm)
對于薄基區(qū)通常采用多晶硅發(fā)射區(qū),結(jié)深可達25nm,但存在re大的問題