摘 要
研究了一種基于硅懸臂梁諧振器的新型氣體傳感器。該傳感器的敏感環(huán)境中，可同時(shí)獲得敏感膜電導(dǎo)率和質(zhì)量變化，測量被測氣體分子的荷質(zhì)比，具有高靈敏度和高選擇性。根據(jù)這一原理，針對氣體傳感器的需求，設(shè)計(jì)了硅懸臂梁諧振器化學(xué)傳感器結(jié)構(gòu)，進(jìn)行了仿真優(yōu)化，并采用MEMS表面犧牲層工藝制備該器件，激光頻率儀測量驗(yàn)證了該微型諧振梁的諧振頻率。
關(guān)鍵詞：MEMS；氣體傳感器；荷質(zhì)比；犧牲層工藝
1. 引言
微氣體傳感器在化學(xué)氣相檢測和應(yīng)用方面有著很大的潛力，現(xiàn)在有很多研究都旨在改善微型傳感器的化學(xué)選擇性差和識(shí)別選擇性差等弊端。傳統(tǒng)傳感器通過測量諧振電導(dǎo)和頻率來檢測氣體。由于可以通過荷質(zhì)比來確定來確定原子，所以我們計(jì)劃通關(guān)過測量氣體分子荷質(zhì)比來達(dá)到氣體檢測的高選擇性，因此我們設(shè)計(jì)了一種能夠都是測量氣體分子的電荷和質(zhì)量的傳感器。經(jīng)過傳感器的氣體被氣體敏感膜吸收后，通過測量氣體敏感膜的電導(dǎo)率和諧振器的轉(zhuǎn)換頻率就能夠獲得氣體的電荷和質(zhì)量。