薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器的研究現(xiàn)狀.doc
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薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器的研究現(xiàn)狀,超磁致伸縮薄膜是一種性能優(yōu)良的新型微驅(qū)動元件,在查閱大量文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,介紹了超磁致伸縮薄膜驅(qū)動的原理,綜述了薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器的開發(fā)和最新研究成果,重點(diǎn)介紹了薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器在微流體控制系統(tǒng)中的應(yīng)用,在線性超聲微馬達(dá)中的應(yīng)用和在微小型行走機(jī)械中的應(yīng)用,并對超磁致伸縮薄膜在微執(zhí)行器中的發(fā)展提出了展望。
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超磁致伸縮薄膜是一種性能優(yōu)良的新型微驅(qū)動元件,在查閱大量文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,介紹了超磁致伸縮薄膜驅(qū)動的原理,綜述了薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器的開發(fā)和最新研究成果,重點(diǎn)介紹了薄膜型超磁致伸縮微執(zhí)行器在微流體控制系統(tǒng)中的應(yīng)用,在線性超聲微馬達(dá)中的應(yīng)用和在微小型行走機(jī)械中的應(yīng)用,并對超磁致伸縮薄膜在微執(zhí)行器中的發(fā)展提出了展望。