譯文：

在ELID磨削中利用軟件補(bǔ)償加工非球面的在機(jī)輪廓測(cè)量系統(tǒng)的發(fā)展研究

摘要
高效準(zhǔn)確尺寸的硬脆材料光學(xué)表面制造是一個(gè)被重大關(guān)切的光電產(chǎn)業(yè)。用修整（ELID鏡面）研磨這種方法可以使硬脆材料表面的光潔度達(dá)到納米級(jí)。除了表面光潔度外，改善非球面鏡的外形和形式尺寸精度也是很重要的，動(dòng)力學(xué)通常被認(rèn)為是影響機(jī)械零件加工準(zhǔn)確度的因素之一。軟件是直接和經(jīng)濟(jì)的方法來克服一些運(yùn)動(dòng)的因素及改善尺寸精度的方法之一。最后也是最重要的一點(diǎn)對(duì)取得的表面輪廓的監(jiān)測(cè)，以確保已完成的部分的半徑更準(zhǔn)確。所以以上機(jī)剖面測(cè)量系統(tǒng)基于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）的原則已被檢查而且運(yùn)用到地面的剖面半徑。在這項(xiàng)研究中采用的軟件彌補(bǔ)ELID鏡面磨削非球面表面，以彌補(bǔ)車輪磨損表面輪廓測(cè)量的誤差，直到BK7玻璃達(dá)到腀@惺艿南薅取�

1 概要介紹
在光學(xué)體系中，使用非球面可以控制誤差和減少一些不利因素，這些都不會(huì)影響縮小視圖質(zhì)量的。因此，光學(xué)電子產(chǎn)業(yè)選擇非球面透鏡作為精密光學(xué)體系的一個(gè)不可或缺的要素，從而達(dá)到節(jié)約經(jīng)濟(jì)的目的。這里仍然有很多機(jī)會(huì)來改進(jìn)加工非球面透鏡的制造工藝，達(dá)到鏡面粗糙精度和整個(gè)輪廓的精度達(dá)到超微米的誤差。而產(chǎn)生自由表面更傳統(tǒng)的方法是單點(diǎn)金剛石并帶有快速伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方法。但對(duì)于可加工的這種材質(zhì)的數(shù)量，這個(gè)方法有它的限制。而濕磨法就是一種可行的工藝技術(shù)，因?yàn)檫@種方法具有在硬脆的表面產(chǎn)生透明清晰的表面的特性。濕磨法就是通過打磨和拋光工藝技術(shù)除去損壞層或加工后的痕跡達(dá)到高質(zhì)量的非球面表面。但這些拋光工藝會(huì)在成品的波形精準(zhǔn)度產(chǎn)生一些不利的效果。在硬脆的表面進(jìn)行打磨時(shí)就會(huì)經(jīng)常發(fā)生載入，消光和脫落現(xiàn)象，就像玻璃在超精細(xì)砂輪上加工后會(huì)產(chǎn)生模糊的表面。電解工藝技術(shù)是對(duì)（ELID鏡面）打磨后的修飾，（這個(gè)方法是1985年6月田村介紹引進(jìn)的）這個(gè)工藝方法對(duì)在硬脆的表面進(jìn)行打磨拋光后不會(huì)留下模糊的表面。因此，引進(jìn)的ELID鏡面磨削被認(rèn)為是一種生成自由高質(zhì)量光學(xué)表面的里程碑，它能消除光學(xué)質(zhì)量表面拋光 過程的一些不良效果和提高尺寸精準(zhǔn)性。