低氣壓射頻放電等離子體特性參數(shù)的研究

1.13萬 29頁 原創(chuàng)作品，通過查重系統(tǒng)


摘要
本文簡要介紹了等離子體的特性和等離子體光譜診斷的原理及進(jìn)展，通過光譜診斷系統(tǒng)測量了低氣壓射頻等離子體發(fā)射光譜，利用玻爾茲曼曲線斜率法計算了等離子體電子溫度并與等離子體源的放電模擬結(jié)果對比分析。結(jié)果表明，等離子體光譜診斷結(jié)果符合comsol模擬封閉式等離子體內(nèi)部電子溫度分布的一般規(guī)律， 等離子體區(qū)域電子溫度隨射頻電壓的增加而升高，隨氣壓的增強(qiáng)而降低，隨射頻電源頻率變化不明顯。由于進(jìn)氣口和出氣口位置導(dǎo)致的內(nèi)部氣體分布不均等原因， 使得電子溫度呈一定的梯度分布， 這對于等離子體對電磁波的吸收是一個有利條件。課題所研究的低氣壓射頻放電等離子體特性參數(shù)，將有助于研究滿足軍事裝備需要的等離子體源。


關(guān)鍵詞：等離子體 射頻放電 光譜診斷 電子溫度