采用表面微加工技術制造微型行星齒輪減速器
摘要
這篇文章論述了一種結(jié)構(gòu)緊湊、傳動比高的微型行星齒輪減速機構(gòu)。這種機構(gòu)的加工方法采用桑迪亞國家實驗室研發(fā)的過度平面的多極微機電系統(tǒng)技術去除整體結(jié)構(gòu)的冗余部分，而且這種設計原理已經(jīng)得到承認。為了充分利用表面微加工技術，我們在設計加工這種行星減速齒輪時，需要使用安裝在芯片上的微電機。我們將計算這種齒輪預期的減速比，并把它與傳統(tǒng)的鏈傳動和齒輪傳動相比較。在這篇論文中演示的微行星輪占用較少的空間，消耗較少的材料，減速比卻有望達到162：1。這比以前的論文中設計的減速器的傳動比要高的多，簡直是一個神話。
關鍵字：微機電 行星齒輪 減速器 表面微加工 過度平面的多極微機電系統(tǒng)的加工（簡稱為SUMMiT V）