綠色制造過程-表面微氣泡空化預處理
軟系統(tǒng)方法論文件：第ES - O型108
Steven C. Kuo
英特爾微電子亞洲有限公司
9樓，第205號，敦華北路
臺灣臺北， 105
摘要-本文提出了一種在電鍍或?qū)訅褐袄梦⑴菘栈膭?chuàng)新的表面粗糙預處理工藝方法，在這種工藝中沒有采用危險化學用品，符合綠色工藝的要求。在半導體行業(yè)，這種表面的破壞機制或表面粗糙方法是一種需要化學品的工藝，在清潔和沖洗表面處理后的蝕刻工藝時污染了大量的水，浪費了額外的時間。氣蝕是水中氣泡產(chǎn)生和破裂時可以觀察到的過程。這其中最重要的是，氣泡在破裂并沖擊旁邊的物體或表面時產(chǎn)生了沖擊波，從而導致微尺度侵蝕或腐蝕。在現(xiàn)實世界中，空化氣泡損害了水下液壓設(shè)備，如螺旋槳，是最不希望但又無法避免的現(xiàn)象。然而以上方法不僅是替代化學釋放，滿足綠色工藝要求的理想的變革，而且還是一種優(yōu)化總生產(chǎn)時間和水消耗的成本效益的技術(shù)。
I. 導言
先進的半導體設(shè)備在技術(shù)、通訊和娛樂方面改變了我們的日?；顒樱缁蚪M測繪、3G手機、虛擬網(wǎng)上游戲世界的第二生命。強大的運算能力歸因于硅芯片，電路板或印刷電路板，包括主板，襯底和各種卡片，這是一臺個人計算機中最常見的組成部分。然而，我們在享受技術(shù)帶給我們的好處時，包含有害材料的工藝過程正在嚴重危害我們的環(huán)境。聯(lián)合國一份關(guān)于工業(yè)對環(huán)境影響的研究報告(參[1])中指出，生產(chǎn)臺式機消耗240多公斤石油燃料， 22公斤的化學品， 1.5噸的水。報告認為這是一個骯臟的行業(yè)。幸運的是，工業(yè)逐漸接受了環(huán)保意識，工藝中必要的改變也在完善。怎樣使利用更好的工藝制造一流產(chǎn)品的能力和盡量減少對環(huán)境的影響共存？綠色制造不僅是一種準則，而且還是承擔著社會責任的事業(yè)。
A.綠色制造
綠色制造有3個關(guān)鍵特征。成品只包含自然材料并且加工中不包含有害化學品，此外生產(chǎn)過程中高效而合理的使用能源和資源也是重要的指標，質(zhì)量的改進使業(yè)務更具競爭力，減少環(huán)境事故使業(yè)務更有效益。最終，所有企業(yè)正面臨著與環(huán)境管理和綠色產(chǎn)品相關(guān)的日益增長的供應鏈壓力。由于綠色制造是一種趨勢，對我們的環(huán)境是至關(guān)重要的，半導體行業(yè)必須作出反應以使它們的